H2O2 전자급 대 산업용: SEMI 규격 및 반도체 응용

H2O2 전자급 대 산업용: 반도체 제조용 순도 비교

과산화수소 전자급(CAS 7722-84-1, 30–32%)은 진공 증류, 이온 교환, 멤브레인 여과를 통해 정제되어 금속 불순물이 ppb에서 ppt 수준에 도달합니다. ISO 5 클린룸에서 충전되며, PE 용기 또는 PTFE 라이닝 ISO 탱크에 포장됩니다. 산업용 50%는 수처리 및 표백에 사용되며 금속 불순물을 엄격히 관리하지 않습니다.

SEMI C30-1110은 5개 등급으로 분류합니다. Grade 2(10 ppb 미만)는 반도체 응용의 최소 요구 사항이고, Grade 5는 sub-7nm 노드에 필요하며 각 금속 원소당 10 ppt 미만이 요구됩니다. 분석 방법: Grade 4–5는 ICP-MS 필수, Grade 2–3은 GF-AAS로 충분합니다. Solvay INTEROX 제품군은 EG-10(Grade 2), EG-1(Grade 3), Pico(Grade 4), PicoPlus(Grade 5)로 구성되며, 각 등급은 특정 반도체 노드 요구 사항을 충족합니다.

응용 분야: RCA 세정(SC-1 및 SC-2), 실리콘 식각, 포토레지스트 박리, CMP 후 잔류물 제거. Lộc Thiên은 일본/한국에서 수입한 전자급 H2O2를 공급하며, SEMI Grade 2~5를 포괄하고 로트별 ICP-MS COA를 제공합니다. 전화 0979 891 929.